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      技術(shù)文章
      

      
    
      
        
      
            
      真空度測(cè)試儀的特征
      
        
      
        
      
            真空度測(cè)試儀的特征

      真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料
      一定時(shí)，真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我公司開(kāi)創(chuàng)了
      基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。      
        
      
    
       

      


    
      

      

      
    




      


      
        
        
        
    
      
    



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